Victrex PEEK를 채택한 CMP Retainer Ring은,
1) 수명 측면에서 PPS Ring 대비 최대 2배 이상이며,
2) 다운타임, 결함 비용 절감으로 생산성이 향상되어 다운타임을 줄이고 운영시간을 연장하여 하나의 Ring으로 더 많은 웨이퍼의 연마가 가능합니다.
사출 가능한 규격 및 사양은 고객사와 협의 하에 조정 가능합니다.
1) 규격 : 200mm & 300mm
2) 사양 : Non-Insert type & Insert type
반도체 공정에서 요구되는 내열성, 내마모성, ESD 성능을 제공합니다.
공정에 적합한 PEEK 재료의 선정을 진행하고, 규격 및 사양에 적합한 사출 제품의 공급이 가능합니다.
특수 사양의 PEEK 재료 적용을 통한 사출제품의 생산이 가능하며, 내열성, 내마모성, 내화학성, ESD 성능을 제공합니다.